微小電場における表面活性化現象を利用した超精密加工法の研究
著者
書誌事項
微小電場における表面活性化現象を利用した超精密加工法の研究
中島利勝, 1999.3
- タイトル別名
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平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書(課題番号09450061)
- タイトル読み
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ビショウ デンジョウ ニオケル ヒョウメン カッセイカ ゲンショウ オ リヨウ シタ チョウ セイミツ カコウホウ ノ ケンキュウ
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注記
平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書
課題番号: 09450061
研究分担者: 塚本真也, 大橋一仁
