高性能半導体プロセス用分析・評価技術

Author(s)

    • 半導体基盤技術研究会 ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ

Bibliographic Information

高性能半導体プロセス用分析・評価技術

UCS半導体基盤技術研究会編

（Ultra clean technology series, no.13）

リアライズ社, 1992.5

Title Transcription

コウセイノウ ハンドウタイ プロセスヨウ ブンセキ ヒョウカ ギジュツ

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Note

監修:大見忠弘・新田雄久

各章末:参考文献

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Details

  • NCID
    BA4630306X
  • ISBN
    • 4947655534
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    233p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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