有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発

著者

• 杉村, 博之 スギムラ, ヒロユキ

書誌事項

有機シラン系自己組織化超薄膜レジストの創製とナノ微細加工プロセスの開発

杉村博之 [ほか著]

[出版者不明], 2000.3

タイトル別名

平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ユウキ シランケイ ジコ ソシキカ チョウハクマク レジスト ノ ソウセイ ト ナノ ビサイ カコウ プロセス ノ カイハツ

注記

課題番号:10555247

研究分担者: 高井治, 井上泰志, 中桐伸行

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46386555
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm