Metal impurities in silicon-device fabrication

著者

• Graff, Klaus

書誌事項

Metal impurities in silicon-device fabrication

Klaus Graff

（Springer series in materials science, v. 24）

Springer-Verlag, c2000

2nd, revised ed.

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46405070
• ISBN:
  • 3540642137
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin ; New York
• ページ数/冊数: xv, 268 p.
• 大きさ: 24 cm
• 親書誌ID:
  • BA00476831