UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
著者
書誌事項
UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
[出版者不明], 2000.3
- タイトル別名
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平成9年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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UHFタイ プラズマ オ モチイタ ジセダイ ダイコウケイ キノウセイ ハクマク プロセス ノ カイハツ
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注記
課題番号:09355002
研究分担者: 河野明廣, 堀勝, 伊藤昌文ほか