ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

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ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

水谷孝 [ほか著]

[出版者不明], 2000.3

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平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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ケルビン プローブ フォース ケンビキョウ オ モチイタ デバイス ナイブ ノ デンイ ブンプ ソクテイ ギジュツ ノ ケンキュウ

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Note

課題番号:10450135

研究分担者: 岸本茂

Details

  • NCID
    BA46476476
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    40p
  • Size
    30cm
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