ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

著者

• 水谷, 孝 ミズタニ, タカシ

書誌事項

ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究

水谷孝 [ほか著]

[出版者不明], 2000.3

タイトル別名

平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ケルビン プローブ フォース ケンビキョウ オ モチイタ デバイス ナイブ ノ デンイ ブンプ ソクテイ ギジュツ ノ ケンキュウ

注記

課題番号:10450135

研究分担者: 岸本茂

• NII書誌ID(NCID): BA46476476
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 40p
• 大きさ: 30cm