ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究
著者
書誌事項
ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いたデバイス内部の電位分布測定技術の研究
[出版者不明], 2000.3
- タイトル別名
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平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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ケルビン プローブ フォース ケンビキョウ オ モチイタ デバイス ナイブ ノ デンイ ブンプ ソクテイ ギジュツ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号:10450135
研究分担者: 岸本茂