シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究

Author(s)

• 佐藤, 一雄 サトウ, カズオ

Bibliographic Information

シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究

佐藤一雄 [ほか著]

[出版者不明], 2000.3

Other Title

平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

シリコン ノ ケッショウ イホウセイ エッチング プロセス モデル ノ ケンキュウ

Note

課題番号:10044149

研究分担者: 式田光宏, Miko Elwenspoek, Jaap van Veenendaalほか

• NCID: BA46484678
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 129p
• Size: 30cm