シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究

Author(s)

Bibliographic Information

シリコンの結晶異方性エッチングプロセスモデルの研究

佐藤一雄 [ほか著]

[出版者不明], 2000.3

Other Title

平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

シリコン ノ ケッショウ イホウセイ エッチング プロセス モデル ノ ケンキュウ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号:10044149

研究分担者: 式田光宏, Miko Elwenspoek, Jaap van Veenendaalほか

Details

  • NCID
    BA46484678
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    129p
  • Size
    30cm
Page Top