極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発

著者

• 財満, 鎭明 ザイマ, シゲアキ

書誌事項

極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発

財満鎭明 [著]

[出版者不明], 2000.3

タイトル別名

平成9年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ゴクウス ゲート サンカマク ノ ゲンシソウ セイギョ ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ

注記

課題番号:09555098

参考文献:p127-128

• NII書誌ID(NCID): BA46490932
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 132p
• 大きさ: 30cm