超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制御

著者

• 金光, 陽一 カネミツ, ヨウイチ

書誌事項

超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制御

研究代表者金光陽一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9-11年度）

[九州大学], 2000.3

タイトル別名

平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号09650272)

タイトル読み

チョウビサイ カコウ オ ジツゲンスル ジキ フジョウ オ モチイタ ビシンドウ ノ セイギョ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA46679928
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 48p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401