超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制御

Author(s)

• 金光, 陽一 カネミツ, ヨウイチ

Bibliographic Information

超微細加工を実現する磁気浮上を用いた微振動の制御

研究代表者金光陽一

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9-11年度）

[九州大学], 2000.3

Other Title

平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号09650272)

Title Transcription

チョウビサイ カコウ オ ジツゲンスル ジキ フジョウ オ モチイタ ビシンドウ ノ セイギョ

Details

• NCID: BA46679928
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 48p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401