Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
著者
書誌事項
Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度-平成11年度）
[九州大学], 2000.3
- タイトル別名
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平成10年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(課題番号10650013)
- タイトル読み
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Siケッショウチュウ ノ ショウシャ ユウキ ケッカン ノ ドウテキ キョドウ ノ カイメイ ト プロセス オウヨウ