An introduction to microelectromechanical systems engineering

著者

• Maluf, Nadim

書誌事項

An introduction to microelectromechanical systems engineering

Nadim Maluf

（MEMS--Microelectromechanical systems series）

Artech House, c2000

• NII書誌ID(NCID): BA46828722
• ISBN:
  • 0890065810
• LCCN: 99052406
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xix, 265 p
• 大きさ: 24cm
• 分類:
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA42762167