極薄誘電体膜を応用したMOS構造単一電子トランジスタの研究

書誌事項

極薄誘電体膜を応用したMOS構造単一電子トランジスタの研究

研究者代表松尾直人

(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度-平成11年度)

[松尾直人(山口大学工学部)], 2000.3

タイトル読み

ゴクハク ユウデンタイマク オ オウヨウ シタ MOS コウゾウ タンイツ デンシ トランジスタ ノ ケンキュウ

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注記

研究課題番号:10650310

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA47216652
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [宇部]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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