原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発

著者

• 足立, 元明 アダチ, モトアキ

書誌事項

原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発

研究代表者:足立元明

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告, 平成9年度-平成11年度）

[大阪府立大学], 2000.3

タイトル別名

平成9〜11年度科学研究補助金「基盤研究(B)(1)」研究成果報告書

タイトル読み

ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツジン CVB セイマク ソウチ ノ カイハツ

注記

課題番号: 09555240

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA4726842X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [堺]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31564911