原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発

Author(s)

• 足立, 元明 アダチ, モトアキ

Bibliographic Information

原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発

研究代表者:足立元明

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告, 平成9年度-平成11年度）

[大阪府立大学], 2000.3

Other Title

平成9〜11年度科学研究補助金「基盤研究(B)(1)」研究成果報告書

Title Transcription

ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツジン CVB セイマク ソウチ ノ カイハツ

Note

課題番号: 09555240

• NCID: BA4726842X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [堺]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA31564911