原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発
Author(s)
Bibliographic Information
原料ガスのイオン化による無発塵CVB成膜装置の開発
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告, 平成9年度-平成11年度)
[大阪府立大学], 2000.3
- Other Title
-
平成9〜11年度科学研究補助金「基盤研究(B)(1)」研究成果報告書
- Title Transcription
-
ゲンリョウ ガス ノ イオンカ ニ ヨル ムハツジン CVB セイマク ソウチ ノ カイハツ
Available at / 1 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
課題番号: 09555240