電子ビーム微細構造パルス波形及びプロファイル複合計測法の研究

著者

• 榎戸, 武揚 エノト, タケアキ

書誌事項

電子ビーム微細構造パルス波形及びプロファイル複合計測法の研究

榎戸武揚研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10-11年度）

北海道大学, 2000.3

タイトル読み

デンシ ビーム ビサイ コウゾウ パルス ハケイ オヨビ プロファイル フクゴウ ケイソクホウ ノ ケンキュウ

注記

p.1--"榎戸 武揚 (北海道大学大学院工学研究科)"

• NII書誌ID(NCID): BA47572974
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [札幌]
• ページ数/冊数: iii, 91p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701