光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

Author(s)

    • 高谷, 裕浩 タカヤ, ヤスヒロ

Bibliographic Information

光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

研究代表者 高谷裕浩

[高谷裕浩], [2000.3]

Other Title

平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書

Title Transcription

ヒカリ ホウシャアツ マイクロ カコウ ツール ノ シサク カイハツ

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Note

研究課題番号:10555039

Details

  • NCID
    BA47646924
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [豊中]
  • Pages/Volumes
    5, 126p
  • Size
    30cm
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