光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

著者

• 中山, 純一 ナカヤマ, ジュンイチ

書誌事項

光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

研究責任者中山純一

[中山純一], 2000.3

タイトル別名

平成10年度〜11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号10650408)

タイトル読み

ヒカリ ノ コウホウ キョウチョウ サンラン オ モチイタ CVD ウスマク プロセス ノ ジツジカン モニタリング ソウチ カイハツ

• NII書誌ID(NCID): BA4776114X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 196p
• 大きさ: 30cm