光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

Author(s)

• 中山, 純一 ナカヤマ, ジュンイチ

Bibliographic Information

光の後方強調散乱を用いたCVD薄膜プロセスの実時間モニタリング装置開発

研究責任者中山純一

[中山純一], 2000.3

Other Title

平成10年度〜11年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号10650408)

Title Transcription

ヒカリ ノ コウホウ キョウチョウ サンラン オ モチイタ CVD ウスマク プロセス ノ ジツジカン モニタリング ソウチ カイハツ

• NCID: BA4776114X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [京都]
• Pages/Volumes: 196p
• Size: 30cm