低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成

Author(s)

• 下妻, 光夫 シモズマ, ミツオ

Bibliographic Information

低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成

下妻光夫研究代表

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成10年度〜平成11年度）

[北海道大学医療技術短期大学部], 2000.3

Title Transcription

テイシュウハ プラズマ CVD ニヨル シュウセキ カイロ ハイセン ノ カクサン バリアザイ トシテノ TiNマク テイオン ケイセイ

Details

• NCID: BA47879591
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: eng
• Place of Publication: [札幌]
• Pages/Volumes: 71p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401