超精密洗浄技術の開発

Author(s)

• 角田, 光雄 ツノダ, テルオ

Bibliographic Information

超精密洗浄技術の開発

角田光雄監修

（CMC books）

シーエムシー, 2000.9

普及版

Other Title

Development of ultra precision cleaning technologies

Title Transcription

チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ

Access to Electronic Resource 1 items

• 超精密洗浄技術の開発

  2000

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

初版の書名: 超精密洗浄技術

Description and Table of Contents

Description

超精密洗浄技術が環境問題により変化した。そのことについて各分野の第一線で活躍中の方々に執筆していただいている。

Table of Contents

• 第１章　精密洗浄の技術動向（精密洗浄技術；洗浄メカニズム　ほか）
• 第２章　超精密洗浄技術（ウェハ洗浄技術；ウェハ乾燥技術　ほか）
• 第３章　ＣＦＣ‐１１３と１，１，１‐トリクロロエタンの規制動向と規制対応状況（国際法による規制スケジュール；規制強化に関する最近の動向　ほか）
• 第４章　洗浄剤・洗浄装置などの市場（洗浄剤；純水製造装置、公害防止装置などの市場）

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Details

• NCID: BA48163176
• ISBN:
  • 488231083X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: iv, 247p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 576.5
  • NDC9 : 576.5
• Subject Headings:
  • BSH : 洗浄法
• Parent Bibliography ID:
  • BA43744819