European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997
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European Workshop on Materials for Advanced Metallization
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Grenoble Submicron Silicon
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Laboratoire d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation
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Ministére de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieur et de la Recherche
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Author(s)
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European Workshop on Materials for Advanced Metallization
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Grenoble Submicron Silicon
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Laboratoire d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation
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Ministére de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieur et de la Recherche
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Bibliographic Information
European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997
with the scientific support of GRESSI (Grenoble Submicron Silicon), INPG (Institut National Polytechnique Grenoble) ; with the financial help of CEA-LETI (Laboratorie d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation ... [et al.] ; sponsorship of IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Applications), Ministère de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieue et de la Recherche, IEEE-EDS
Société Française du Vide, 1997
- Other Title
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MAM '97
Available at / 1 libraries
Note
Includes bibliographical references and indexes
IEEE catalog number 97TH8287
"Supplément à la Revue (Le Vide : science, technique et applications) No.283, Janvier-Févier-Mars, 1997"