ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究
著者
書誌事項
ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究
堀池靖浩, 2000.3
- タイトル別名
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平成8年度科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書
- タイトル読み
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ハロゲン ゲンシ ニヨル ヒョウメン タンゲンシソウ ケイセイ ト ソノ テイエネルギー ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
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