ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究

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ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究

研究代表者 堀池靖浩

堀池靖浩, 2000.3

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平成8年度科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書

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ハロゲン ゲンシ ニヨル ヒョウメン タンゲンシソウ ケイセイ ト ソノ テイエネルギー ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BA48539602
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東京]
  • Pages/Volumes
    76p
  • Size
    30cm
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