ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究

書誌事項

ハロゲン原子によるSi表面単原子層形成とその低エネルギー除去に関する研究

研究代表者 堀池靖浩

堀池靖浩, 2000.3

タイトル別名

平成8年度科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究 B)研究成果報告書

タイトル読み

ハロゲン ゲンシ ニヨル ヒョウメン タンゲンシソウ ケイセイ ト ソノ テイエネルギー ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA48539602
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    76p
  • 大きさ
    30cm
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