ドライプロセスによる超硬質皮膜の原理と工業的応用
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ドライプロセスによる超硬質皮膜の原理と工業的応用
日刊工業新聞社, 2000.10
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ドライ プロセス ニヨル チョウ コウシツ ヒマク ノ ゲンリ ト コウギョウテキ オウヨウ
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Description and Table of Contents
Description
本書は、超硬質皮膜の成膜原理と応用について解説した。教科書として利用いただける学生はもとより、企業に従事する現場技術者、研究開発者をも対象にし、実際の工業的応用例についても可能な限り記述、今後の適用の指針になるよう配慮した。
Table of Contents
- 第１章 超硬質皮膜の動向
- 第２章 蒸着法の原理と特徴
- 第３章 メゾ表面機能創発と信頼性評価
- 第４章 ＰＶＤ皮膜の工業的応用
- 第５章 ＣＶＤ皮膜の工業的応用
- 第６章 ＤＬＣ皮膜の工業的応用
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