CMP用語辞典

著者

• 精密工学会「プラナリゼーション加工/CMP応用技術専門委員会」 セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション カコウ CMP オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ

書誌事項

CMP用語辞典

精密工学会「プラナリゼーション加工/CMP応用技術専門委員会」編

グローバルネット, 2000.5

タイトル別名

CMP technical term dictionary

タイトル読み

CMP ヨウゴ ジテン

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA49000530
• ISBN:
  • 4907847009
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 229p
• 大きさ: 18cm