低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断

著者

• 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ

書誌事項

低域混成波を用いた大口径高密度プロセスプラズマの生成と診断

橘邦英研究代表

[橘邦英], 1999.3

タイトル別名

平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

タイトル読み

テイイキ コンセイハ オ モチイタ ダイコウケイ コウミツド プロセス プラズマ ノ セイセイ ト シンダン

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA49080267
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [京都]
• ページ数/冊数: 104p
• 大きさ: 30cm