リソグラフィ限界を超えた制御性の良いシリコンナノデバイスの作製に関する研究
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リソグラフィ限界を超えた制御性の良いシリコンナノデバイスの作製に関する研究
平本俊郎, 2000.3
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平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)一般)研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2)一般)研究成果報告書
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リソグラフィ ゲンカイ オ コエタ セイギョセイ ノ ヨイ シリコンナノ デバイス ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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Note
研究分担者: 鳳紘一郎、藤島実