Plan-view HREM法によるキンク拡散バリアの原子分解能直接測定
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書誌事項
Plan-view HREM法によるキンク拡散バリアの原子分解能直接測定
前田康二, 2000.3
- タイトル別名
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平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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Plan view HREMホウ ニヨル キンク カクサン バリア ノ ゲンシ ブンカイノウ チョクセツ ソクテイ
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注記
研究分担者: 米良裕、鈴木邦夫
