Plan-view HREM法によるキンク拡散バリアの原子分解能直接測定

著者

• 前田, 康二 マエダ, コウジ

書誌事項

Plan-view HREM法によるキンク拡散バリアの原子分解能直接測定

研究代表者、前田康二

前田康二, 2000.3

タイトル別名

平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

Plan view HREMホウ ニヨル キンク カクサン バリア ノ ゲンシ ブンカイノウ チョクセツ ソクテイ

注記

研究分担者: 米良裕、鈴木邦夫

• NII書誌ID(NCID): BA49228299
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 76p
• 大きさ: 30cm