界面構造解析・制御による薄膜成長プロセスの動的キャラクタリゼーション

書誌事項

界面構造解析・制御による薄膜成長プロセスの動的キャラクタリゼーション

研究代表者 二瓶好正

二瓶好正, 2000.3

タイトル別名

文部省科学研究費補助金(基盤研究 B 2))研究成果報告書

平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究 B 2)研究成果報告書

タイトル読み

カイメン コウゾウ カイセキ セイギョ ニヨル ハクマク セイチョウ プロセス ノ ドウテキ キャラクタリゼーション

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA49236661
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [東京]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
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