静電気力を用いた超クリーン非接触搬送システム

Author(s)

• 樋口, 俊郎 ヒグチ, トシロウ

Bibliographic Information

静電気力を用いた超クリーン非接触搬送システム

研究代表者 樋口俊郎

樋口俊郎, 2000.3

Other Title

平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

セイデンキリョク オ モチイタ チョウクリーン ヒセッショク ハンソウ システム

Details

• NCID: BA49249120
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [東京]
• Pages/Volumes: 170p
• Size: 30cm