希薄気体の熱遷移流を利用した非機械的真空ポンプの開発
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希薄気体の熱遷移流を利用した非機械的真空ポンプの開発
[曾根良夫], 1999.3
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平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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キハク キタイ ノ ネツ センイリュウ オ リヨウ シタ ヒキカイテキ シンクウ ポンプ ノ カイハツ
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