低速イオン注入複合分子線エピタキシによる単結晶シリコン・酸化物量子構造の形成
著者
書誌事項
低速イオン注入複合分子線エピタキシによる単結晶シリコン・酸化物量子構造の形成
深津晋, 2000.3
- タイトル別名
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平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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テイソク イオン チュウニュウ フクゴウ ブンシセン エピタキシ ニヨル タンケッショウ シリコン サンカブツ リョウシ コウゾウ ノ ケイセイ
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注記
研究分担者: 谷由加里、川本清