プラズマ排ガスの排気・精製のための超透過膜の開発に関する基礎的研究
著者
書誌事項
プラズマ排ガスの排気・精製のための超透過膜の開発に関する基礎的研究
山脇道夫, 2000.3
- タイトル別名
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平成9〜11年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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プラズマ ハイガス ノ ハイキ セイセイ ノ タメノ チョウトウカマク ノ カイハツ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
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注記
研究分担者: 山口憲司[ほか]