MEMS and MOEMS technology and applications

著者

• Rai-Choudhury, P.

書誌事項

MEMS and MOEMS technology and applications

P. Rai-Choudhury ed.

SPIE Press, c2000

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA50578811
• ISBN:
  • 0819437166
• LCCN: 00061209
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, WA.
• ページ数/冊数: xi, 520 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Optoelectronic devices