集積回路生産機械・試験装置便覧

著者

• 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ

書誌事項

集積回路生産機械・試験装置便覧

（電子材料, 1970年11月臨時増刊号(第9巻第12号)）

工業調査会, 1970.11

タイトル別名

集積回路生産機械試験装置便覧

タイトル読み

シュウセキ カイロ セイサン キカイ シケン ソウチ ベンラン

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA50884170
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 188p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA50884046