MEMS

著者

書誌事項

MEMS

American Society of Mechanical Engineers

タイトル別名

MEMS (Series)

Mocrp-electro-mechanical systems (MEMS)

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA51122982
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    New York, N. Y. (Three Park Avenue / New York, N. Y. 10016)
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