薄膜トランジスタ高性能化を目指した固相成長多結晶シリコン薄膜に関する構造学的及び電気的基礎研究

書誌事項

薄膜トランジスタ高性能化を目指した固相成長多結晶シリコン薄膜に関する構造学的及び電気的基礎研究

竹中敏[著]

竹中敏, 1999.10

タイトル読み

ハクマク トランジスタ コウ-セイノウカ ヲ メザシタ コソウ セイチョウ タ-ケッショウ シリコン ハクマク ニ カンスル コウゾウガクテキ オヨビ デンキテキ キソ ケンキュウ

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注記

博士論文(金沢大学, 2000, 博甲第319号)

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA51126859
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [金沢]
  • ページ数/冊数
    131p
  • 大きさ
    30cm
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