Mechanical microsensors

著者

• Elwenspoek, M.
• Wiegerink, R.

書誌事項

Mechanical microsensors

M. Elwenspoek, R. Wiegerink

（Microtechnology and MEMS）

Springer-Verlag, c2001

• : gw

注記

"Physics and Astronomy online library"--Half t.p

Includes bibliographical references (p. [274]-290) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA51428020
• ISBN:
  • 3540675825
• LCCN: 00057363
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: x, 295 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875.E49
  • DC21 : 681/.2
• 件名:
  • LCSH : Detectors -- Design and construction
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Design and construction
  • LCSH : Transducers
  • LCSH : Silicon
  • LCSH : Micromachining
• 親書誌ID:
  • BA51409718