平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

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平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

永津雅章[ほか著]

[出版者不明], 2001.3

Other Title

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

Title Transcription

ヘイメンジョウ ヒョウメンハ プラズマ オ モチイタ ダイメンセキ ダイヤモンド ウスマク セイセイ ニ カンスル ケンキュウ

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Note

課題番号:11480106

研究分担者: 菅井秀郎

Details

  • NCID
    BA51624415
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    83p
  • Size
    30cm
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