平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

著者

• 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ

書誌事項

平面状表面波プラズマを用いた大面積ダイヤモンド薄膜生成に関する研究

永津雅章[ほか著]

[出版者不明], 2001.3

タイトル別名

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

ヘイメンジョウ ヒョウメンハ プラズマ オ モチイタ ダイメンセキ ダイヤモンド ウスマク セイセイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

課題番号:11480106

研究分担者: 菅井秀郎

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA51624415
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 83p
• 大きさ: 30cm