MEMS 2001 : the 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Interlaken, Switzerland, January 21-25, 2001 : technical digest
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MEMS 2001 : the 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Interlaken, Switzerland, January 21-25, 2001 : technical digest
IEEE, c2001
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Technical Digest MEMS 2001 : the 14th ...
01CH37090
IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference technical digest 2001
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"IEEE catalog number: 01CH37090"