Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering

著者

• Lyshevski, Sergey Edward

書誌事項

Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering

Sergey Edward Lyshevski

（Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series）

CRC Press, c2001

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA51836118
• ISBN:
  • 0849309166
• LCCN: 00057953
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton, FL
• ページ数/冊数: 338 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC21 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BA5182498X