NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化

著者

    • 田坂, 明政 タサカ, アキマサ

書誌事項

NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化

研究代表者田坂明政

(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度)

[田坂明政], 2001.3

タイトル別名

平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

タイトル読み

NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツカガク ハンノウ ニヨル SiC ノ フッソカ

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注記

TRの[3]は下つき文字

課題番号: 11650864

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA51878468
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [京都]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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