NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化

Author(s)

    • 田坂, 明政 タサカ, アキマサ

Bibliographic Information

NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化

研究代表者田坂明政

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[田坂明政], 2001.3

Other Title

平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

Title Transcription

NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツカガク ハンノウ ニヨル SiC ノ フッソカ

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Note

TRの[3]は下つき文字

課題番号: 11650864

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Details

  • NCID
    BA51878468
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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