荷電粒子ビーム工学
Author(s)
Bibliographic Information
荷電粒子ビーム工学
コロナ社, 2001.5
- Other Title
-
Science and technology of charged particles beams
- Title Transcription
-
カデン リュウシ ビーム コウガク
Available at / 132 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
参考文献: p[297]-298
Description and Table of Contents
Description
本書では、電子だけでなくイオンも含めた荷電粒子の発生、ビーム輸送・操作に加えて、それらを用いた材料プロセスも重要なテーマであると位置づけ、荷電粒子ビームと固体との相互作用の入門的な記述も加え、また、電子およびイオンビーム技術に関し、その基本となる基礎現象の理解ができるだけ得られるように、現象の物理的意味をわかりやすく解説している。
Table of Contents
- １ 荷電粒子ビームの特質と利用形態
- ２ 電子とイオン
- ３ 電子の発生とビーム形成
- ４ イオンの発生とビーム形成
- ５ ビーム輸送と操作
- ６ ビームと固体原子の相互作用
- ７ 高周波エネルギー変換デバイス
- ８ 荷電粒子ビーム装置
by "BOOK database"