ECRスパッタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法の研究

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ECRスパッタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メディアの低温・高速作製法の研究

山本節夫研究代表

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[山口大学工学部], 2001.3

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ECRスッパタホウ ニヨル コバルト ガンユウ サンカテツ ハクマク メディア ノ テイオン コウソク サクセイホウ ノ ケンキュウ

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  • NCID
    BA51999451
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [宇部]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    31cm
  • Parent Bibliography ID
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