Copper-fundamental mechanisms for microelectronic applications

著者

• Murarka, S. P.
• Verner, Igor V.
• Gutmann, Ronald J.

書誌事項

Copper-fundamental mechanisms for microelectronic applications

Shyam P. Murarka, Igor V. Verner, Ronald J. Gutmann

John Wiley & Sons, c2000

• : cloth

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BA52043269
• ISBN:
  • 0471252565
• LCCN: 99045535
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: xxviii, 337 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Materials
  • LCSH : Copper
  • LCSH : Metallizing
  • LCSH : Semiconductors -- Junctions
  • LCSH : Microelectronics